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Medientyp: Buch Titel: Micro process engineering : fundamentals, devices, fabrication, and applications Beteiligte: Kockmann, Norbert [Hrsg.] Erschienen: Weinheim: Wiley-VCH, 2013 Erschienen in: Advanced micro & nanosystems ; 5,2013 Umfang: XXII, 507 S.; Ill., graf. Darst Sprache: Englisch ISBN: 9783527335008 RVK-Notation: VN 7000 : Allgemeines Schlagwörter: Mikroverfahrenstechnik Entstehung: Anmerkungen: Weitere Bestandsnachweise 0 : Advanced micro & nanosystems