Strukturelle und elektrische Eigenschaften polykristalliner Siliziumdünnfilme

Medientyp: Buch; Hochschulschrift
Titel: Strukturelle und elektrische Eigenschaften polykristalliner Siliziumdünnfilme
Enthält: Tab. - Literaturverz. S. 93 - 96

Beteiligte: Podbielski, Rainer [VerfasserIn]; Möller, Hans Joachim [Doktorvater]; Schünemann, Klaus [Gutachter]
Körperschaft: Technische Universität Hamburg-Harburg, Arbeitsbereich Halbleitertechnologie
Erschienen: Düsseldorf: VDI-Verl., 1986
Erschienen in: Verein Deutscher Ingenieure: Fortschrittberichte VDI / 9 ; 62
Ausgabe: Als Ms. gedr.
Umfang: 175 S; Ill. , graph. Darst
Sprache: Deutsch
ISBN: 3181462098
Schlagwörter: Silicium > Dünne Schicht > Polykristall > Elektrische Leitfähigkeit > Messung
Entstehung:
Hochschulschrift: Zugl.: Hamburg-Harburg, Techn. Univ., Arbeitsbereich Halbleitertechnologie, Diss., 1986
Anmerkungen:
Weitere Bestandsnachweise
0 : Fortschrittberichte VDI / 9

Strukturelle und elektrische Eigenschaften polykristalliner Siliziumdünnfilme - [Als Ms. gedr.]