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Medientyp: Buch Titel: Microfabrication and nanomanufacturing Beteiligte: Jackson, Mark J. [Hrsg.] Erschienen: Boca Raton, Fla.[u..]: Taylor & Francis, 2005 Umfang: 401 S.; Ill., graph. Darst Sprache: Englisch ISBN: 0824724313; 9780824724313 RVK-Notation: ZN 3750 : Mikrosystemtechnik Schlagwörter: Mikrosystemtechnik > Fertigungstechnik Entstehung: Anmerkungen: Includes index