Modellbasierter Systementwurf zur Steuerung und Regelung quasi-statischer Mikroscannerspiegel mit elektrostatischem Kammantrieb

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Medientyp: Buch; Hochschulschrift
Titel: Modellbasierter Systementwurf zur Steuerung und Regelung quasi-statischer Mikroscannerspiegel mit elektrostatischem Kammantrieb
Beteiligte: Schroedter, Richard [Verfasser:in]
Körperschaft: Technische Universität Dresden
Erschienen: Dresden: Vogt, 2018
Erschienen in: Beiträge aus der Elektrotechnik
Umfang: xli, 261, XXXV Seiten; Illustrationen, Diagramme; 21 cm x 14.8 cm
Sprache: Deutsch; Englisch
ISBN: 9783959470308; 3959470304
RVK-Notation: ZN 3750 : Mikrosystemtechnik
Schlagwörter: MEMS > Spiegelsystem > Scanner > Mikroaktor > Kammantrieb > Positionsgeber > Reglerentwurf > Repetitive control > Systementwurf
Entstehung:
Hochschulschrift: Dissertation, Technische Universität Dresden, 2018
Anmerkungen: Auf dem Umschlag Serie 'Elektrotechnik' genannt
Text auf Deutsch, Kurzfassung auf Englisch

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