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Medientyp: Buch Titel: Silicon micromachining Beteiligte: Elwenspoek, Miko [Verfasser:in]; Jansen, Henri V. [Verfasser:in] Erschienen: Cambridge [u.a.]: Cambridge University Press, 1998 Erschienen in: Cambridge studies in semiconductor physics and microelectronic engineering ; 700 Ausgabe: 1. publ. Umfang: XIII, 405 S; Ill., graph. Darst; 26 cm Sprache: Englisch ISBN: 052159054x RVK-Notation: UQ 2800 : Kristallbearbeitung, Polieren, Ätzen ZN 4980 : Mikrocontroller, Signalprozessoren ZN 4136 : Technologie der Mikromechanik Schlagwörter: Silicium > Mikromechanik > Mikrobearbeitung > Ätzen Entstehung: Anmerkungen: Includes bibliographical references Weitere Bestandsnachweise 0 : Cambridge studies in semiconductor physics and microelectronic engineering
Bereichsbibliothek DrePunct – Magazin Signatur: R2024 4 200 Barcode: 32414578 Status: Ausleihbar, bitte bestellen > Bestellen möglich - bitte anmelden Bereitstellung voraussichtlich: 1 - 2 Tage nach Bestellung