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Medientyp: Buch; Hochschulschrift Titel: Prozeßinduzierte mechanische Spannungen in TiSi 2 -Schichten während der Temperung in einem RTP-System Beteiligte: Taddiken, Hans [VerfasserIn] Erschienen: Düsseldorf: VDI-Verl., 1994 Erschienen in: Verein Deutscher Ingenieure: Fortschrittberichte VDI / 3 ; 353 Ausgabe: Als Ms. gedr. Umfang: IX, 107 S.; Ill., graph. Darst Sprache: Deutsch ISBN: 3183353032 RVK-Notation: ZN 3460 : Halbleiterwerkstoffe Schlagwörter: Halbleitertechnologie > Titansilicide > Dünne Schicht > Tempern > Mechanische Spannung Entstehung: Hochschulschrift: Zugl.: Hannover, Univ., Diss., 1993 Anmerkungen: Weitere Bestandsnachweise 0 : Fortschrittberichte VDI / 3