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Medientyp: Buch Titel: Resolution enhancement techniques in optical lithography Beteiligte: Wong, Alfred Kwok-Kit [Verfasser:in] Erschienen: Bellingham, Wash.: SPIE Press, c2001 Erschienen in: Tutorial texts in optical engineering ; 47 Umfang: XVII, 214 S; Ill., graph. Darst Sprache: Englisch ISBN: 0819439959 RVK-Notation: ZN 4170 : Fotolithographie; Maskierung (Elektronenstrahllithographie; Röntgenstrahllithographie) Schlagwörter: Integrierte Schaltung Lithografie Entstehung: Anmerkungen: Literaturverz. S. 189 - 208 Weitere Bestandsnachweise 0 : Tutorial texts in optical engineering
Bereichsbibliothek DrePunct – Magazin Signatur: R2019 4 105 Barcode: 30630190 Status: Ausleihbar, bitte bestellen > Bestellen möglich - bitte anmelden Bereitstellung voraussichtlich: 1 - 2 Tage nach Bestellung