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Medientyp: Buch; Hochschulschrift Titel: Untersuchung und Realisierung von taktilen Sensorsystemen unter Verwendung der Oberflächenmikromechanik Beteiligte: Leineweber, Michael [VerfasserIn] Erschienen: Düsseldorf: VDI-Verl., 2002 Erschienen in: Verein Deutscher Ingenieure: Fortschrittberichte VDI / 9 ; 348 Ausgabe: Als Ms. gedr. Umfang: VI, 122 S; Ill., graph. Darst; 21 cm Sprache: Deutsch ISBN: 3183348098 RVK-Notation: ZQ 3750 : Wägung, Dichtemessung, Viskosimetrie Schlagwörter: Taktiler Sensor > Siliciumsensor > Wafer > CMOS-Schaltung > Mikromechanik > Oberflächenmontage Entstehung: Hochschulschrift: Zugl.: Duisburg, Univ.-Gesamthochsch, Diss., 2001 Anmerkungen: Weitere Bestandsnachweise 0 : Fortschrittberichte VDI / 9