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Medientyp: Buch Titel: CMOS cantilever sensor systems : atomic force microscopy and gas sensing applications Beteiligte: Lange, Dirk [VerfasserIn]; Brand, Oliver [VerfasserIn]; Baltes, Henry [VerfasserIn] Erschienen: Berlin; Heidelberg [u.a.]: Springer, 2002 Erschienen in: Microtechnology and MEMS Physics and astronomy online library Umfang: VIII, 142 S.; Ill., graph. Darst; 24 cm Sprache: Englisch ISBN: 3540431438 RVK-Notation: ZN 4960 : MOS-, MIS-Schaltungen (hier auch CTD-Schaltungen; Eimerkettenschaltungen; CMOS-Schaltungen...) Schlagwörter: Sensorsystem > CMOS > Rasterkraftmikroskopie > Gassensor Entstehung: Anmerkungen: Literaturverz. S. [131] - 140