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Medientyp: Buch; Konferenzbericht Titel: Metrologie in der Mikro- und Nanotechnik : Tagung Stuttgart, 12. und 13. Februar 2003 Körperschaft: VDI/VDE-Gesellschaft Mess- und Automatisierungstechnik ; Gesellschaft Mess- und Regelungstechnik Erschienen: Düsseldorf: VDI-Verl., 2003 Erschienen in: Verein Deutscher Ingenieure: VDI-Berichte ; 1669 Umfang: 202 S.; Ill., graph. Darst Sprache: Deutsch ISBN: 3180916699 RVK-Notation: ZQ 3100 : Allgemeines, Theorie, Messverfahren ZQ 3890 : Messen sonstiger nichtelektrischer Grössen Schlagwörter: Mikrosystemtechnik > Metrologie Nanotechnologie > Metrologie Entstehung: Anmerkungen: Literaturangaben Weitere Bestandsnachweise 0 : VDI-Berichte