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Medientyp: Buch Titel: Micromachined thin-film sensors for SOI-CMOS co-integration Beteiligte: Laconte, Jean [VerfasserIn]; Flandre, Denis [VerfasserIn]; Raskin, Jean-Pierre [VerfasserIn] Erschienen: Dordrecht: Springer, 2006 Umfang: XIII, 292 S; Ill., graph. Darst Sprache: Englisch ISBN: 0387288422; 9780387288420 RVK-Notation: ZQ 3120 : Sensortechnik; Sensoren allgemein Schlagwörter: Dünnschichtsensor > CMOS Entstehung: Anmerkungen: