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Medientyp: Buch Titel: Silicon devices and process integration : deep submicron and nano-scale technologies Beteiligte: Kareh, Badih el- [Verfasser:in]; El-Kareh, Badih [Sonstige Person, Familie und Körperschaft] Erschienen: New York, NY: Springer, 2009 Umfang: XXV, 597 S.; graph. Darst Sprache: Englisch ISBN: 0387367985; 9780387367989 RVK-Notation: ZN 4904 : Schaltungsentwurf Schlagwörter: Halbleiterbauelement > Halbleitertechnologie > Bipolartransistor > MOS-FET > pn-Übergang > MOS > Nanometerbereich Entstehung: Anmerkungen: Literaturangaben