Design and manufacturing of active microsystems

Medientyp: Buch

Titel: Design and manufacturing of active microsystems

Beteiligte: Büttgenbach, Stephanus [Herausgeber:in]; Burisch, Arne [Herausgeber:in]; Hesselbach, Jürgen [Herausgeber:in]

Körperschaft: Sonderforschungsbereich Konstruktion und Fertigung Aktiver Mikrosysteme

Erschienen: Berlin; Heidelberg [u.a.]: Springer, 2011

Umfang: XII, 444 S.; Ill., graph. Darst; 235 mm x 155 mm

Sprache: Englisch

ISBN: 9783642129025

Verlags-, Produktions- oder Bestellnummern: Sonstige Nummer: 12698608

RVK-Notation: ZN 3750 : Mikrosystemtechnik

Schlagwörter: Mikrosystemtechnik > Systementwicklung > Mikrofertigung

Entstehung:

Anmerkungen: This book summarizes the results obtained within the Collaborative Research Center (SFB 516)

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