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Medientyp: E-Book; Hochschulschrift Titel: Particle dynamics simulation and diagnostics of the PECVD processes in fluorocarbon rf discharges Beteiligte: Barz, Jakob Philipp [VerfasserIn] Erschienen: 2010 Umfang: Online-Ressource Sprache: Deutsch ISBN: 9783868534672 Identifikator: Schlagwörter: Hochfrequenzplasma > Laserinduzierte Fluoreszenz > Simulation Entstehung: Hochschulschrift: Stuttgart, Univ., Diss., 2010 Anmerkungen: Druckausg. beim Verl. Dr. Hut, München erschienen Zugangsstatus: Freier Zugang