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Hesse, Steffen [Sonstige Person, Familie und Körperschaft]; Schäffel, Christoph [Sonstige Person, Familie und Körperschaft]; Zschäck, Stephan [Sonstige Person, Familie und Körperschaft]; Ament, Christoph [Sonstige Person, Familie und Körperschaft]; Müller, Andreas [Sonstige Person, Familie und Körperschaft]; Manske, Eberhard [Sonstige Person, Familie und Körperschaft]

Scan performance of nanopositioning systems with large travel range

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Medientyp: E-Artikel
Titel: Scan performance of nanopositioning systems with large travel range
Beteiligte: Hesse, Steffen [Sonstige Person, Familie und Körperschaft]; Schäffel, Christoph [Sonstige Person, Familie und Körperschaft]; Zschäck, Stephan [Sonstige Person, Familie und Körperschaft]; Ament, Christoph [Sonstige Person, Familie und Körperschaft]; Müller, Andreas [Sonstige Person, Familie und Körperschaft]; Manske, Eberhard [Sonstige Person, Familie und Körperschaft]
Erschienen: 2014
Erschienen in: Ilmenauer Wissenschaftliches Kolloquium Nanomesstechnik und Prozessmesstechnik (2014 : Ilmenau): Shaping the future by engineering ; 2014
Sprache: Englisch
Identifikator: