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Drozd, V. E. [Herausgeber:in]; Egorov, N. V. [Herausgeber:in]; Nikiforov, K. A. [Herausgeber:in] ; International Baltic Conference on Atomic Layer Deposition 14. 2016 Sankt Petersburg

2016 14th International Baltic Conference on Atomic Layer Deposition (BALD)

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  • Medientyp: E-Book; Konferenzbericht
  • Titel: 2016 14th International Baltic Conference on Atomic Layer Deposition (BALD) : October 2-4, 2016, St. Petersburg, Russia : proceedings
  • Beteiligte: Drozd, V. E. [Herausgeber:in]; Egorov, N. V. [Herausgeber:in]; Nikiforov, K. A. [Herausgeber:in]
  • Erschienen: [Piscataway, NJ]: IEEE, 2016
  • Umfang: 1 Online-Ressource; Illustrationen
  • Sprache: Englisch
  • ISBN: 9781509034161
  • Schlagwörter: Atomlagenabscheidung
  • Entstehung:
  • Anmerkungen: Literaturangaben