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Medientyp: E-Book; Hochschulschrift Titel: Particle transport in technological plasmas Beteiligte: Trieschmann, Jan [Verfasser:in]; Mussenbrock, Thomas [Sonstige Person, Familie und Körperschaft]; Awakowicz, Peter [Sonstige Person, Familie und Körperschaft] Erschienen: Bochum: Ruhr-Universität Bochum, 2017 Umfang: Online-Ressource Sprache: Englisch Identifikator: Schlagwörter: Simulation ; Entladung ; Sputtern ; Kinetische Theorie ; Abscheidung ; Beschichten ; Hochschulschrift Entstehung: Hochschulschrift: Dissertation, Bochum, Ruhr-Universität Bochum, 2017 Anmerkungen: Zugangsstatus: Freier Zugang