Gorges, Stephan
[VerfasserIn]
;
Theska, René
[AkademischeR BetreuerIn];
Schäffel, Christoph
[Sonstige Person, Familie und Körperschaft];
Schmidt, Bernd Hans
[Sonstige Person, Familie und Körperschaft]
A lifting and actuating unit for a planar nanoprecision drive system