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  1. Gorges, Stephan [VerfasserIn] ; Theska, René [AkademischeR BetreuerIn]; Schäffel, Christoph [Sonstige Person, Familie und Körperschaft]; Schmidt, Bernd Hans [Sonstige Person, Familie und Körperschaft]

    A lifting and actuating unit for a planar nanoprecision drive system

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    Ilmenau: TU Ilmenau, 2020

  2. Gorges, Stephan [VerfasserIn] ; Theska, René [AkademischeR BetreuerIn]; Schäffel, Christoph [AkademischeR BetreuerIn]; Schmidt, Bernd Hans [AkademischeR BetreuerIn] Technische Universität Ilmenau

    A lifting and actuating unit for a planar nanoprecision drive system

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    Ilmenau: Universitätsbibliothek, [2020?]

  3. Müller, Christoph [MitwirkendeR]; Palm, Sebastian [MitwirkendeR]; Schäffel, Patrick [MitwirkendeR]; Thomas, Ludger [MitwirkendeR]; Viehweg, Dirk [MitwirkendeR] ; VDZ Technology gGmbH

    Projekt-Schlussbericht Wissenstransfer im Bauwesen WiTraBau - Teilvorhaben F: Zusammenarbeit und Wissenstransfer in die Zementindustrie (VDZ) : Projektlaufzeit: 01.12.2014 bis 31.07.2020

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    Düsseldorf: VDZ Technology gGmbH, 18.01.2021

  4. Hesse, Steffen [Sonstige Person, Familie und Körperschaft]; Schäffel, Christoph [Sonstige Person, Familie und Körperschaft]; Mohr, Hans-Ulrich [Sonstige Person, Familie und Körperschaft]; Katzschmann, Michael [Sonstige Person, Familie und Körperschaft]

    Untersuchungen zur erreichbaren Positionierunsicherheit bei elektrodynamischen Direktantrieben mit aerostatischer Führung

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    2005 ; 2010

    Erschienen in: Maschinenbau von Makro bis Nano ; 2005, [01.P.02], insges. 2 S.

  5. Gorges, Stephan [VerfasserIn]; Leistritz, Bianca [VerfasserIn]; Hesse, Steffen [VerfasserIn]; Ortlepp, Ingo [VerfasserIn]; Slotta, Georg [VerfasserIn]; Schäffel, Christoph [VerfasserIn]

    Development of an integrated guiding and actuation element for high dynamic nanopositioning systems

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    [2017]

    Erschienen in: Ilmenau Scientific Colloquium Engineering for a Changing World (2017 : Ilmenau): Engineering for a changing world ; 2017

  6. Schäffel, Christoph [Sonstige Person, Familie und Körperschaft]; Michael, Steffen [Sonstige Person, Familie und Körperschaft]; Paris, Roman [Sonstige Person, Familie und Körperschaft]; Frank, Astrid [Sonstige Person, Familie und Körperschaft]; Zeike, Norbert [Sonstige Person, Familie und Körperschaft]; Gastinger, Kay [Sonstige Person, Familie und Körperschaft]; Kujawinska, Malgorzata [Sonstige Person, Familie und Körperschaft]; Zeitner, U. [Sonstige Person, Familie und Körperschaft]; Beer, S. [Sonstige Person, Familie und Körperschaft]

    Design of an interferometric test station for parallel inspection of MEMS

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    2011

    Erschienen in: Innovation in Mechanical Engineering - Shaping the Future (Veranstaltung : 2011 : Ilmenau): Innovation in mechanical engineering - shaping the future ; 2011

  7. Stubenrauch, Mike [Sonstige Person, Familie und Körperschaft]; Albrecht, Arne [Sonstige Person, Familie und Körperschaft]; Hild, Wolfram [Sonstige Person, Familie und Körperschaft]; Mollenhauer, Olaf [Sonstige Person, Familie und Körperschaft]; Guddei, Bernhard [Sonstige Person, Familie und Körperschaft]; Spiller, Sabine [Sonstige Person, Familie und Körperschaft]; Schäffel, Christoph [Sonstige Person, Familie und Körperschaft]; Katzschmann, Michael [Sonstige Person, Familie und Körperschaft]; Spiller, Frank [Sonstige Person, Familie und Körperschaft]

    Novel precison positioning system with integrated planar guides

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    2008 ; 2011

    Erschienen in: Prospects in mechanical engineering ; 2008

  8. Hesse, Steffen [Sonstige Person, Familie und Körperschaft]; Schäffel, Christoph [Sonstige Person, Familie und Körperschaft]; Zschäck, Stephan [Sonstige Person, Familie und Körperschaft]; Ament, Christoph [Sonstige Person, Familie und Körperschaft]; Müller, Andreas [Sonstige Person, Familie und Körperschaft]; Manske, Eberhard [Sonstige Person, Familie und Körperschaft]

    Scan performance of nanopositioning systems with large travel range

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    2014

    Erschienen in: Ilmenauer Wissenschaftliches Kolloquium Nanomesstechnik und Prozessmesstechnik (2014 : Ilmenau): Shaping the future by engineering ; 2014

  9. Stauffenberg, Jaqueline [VerfasserIn]; Ortlepp, Ingo [VerfasserIn]; Blumröder, Ulrike [VerfasserIn]; Dontsov, Denis [VerfasserIn]; Schäffel, Christoph [VerfasserIn]; Holz, Mathias [VerfasserIn]; Rangelow, Ivo W. [VerfasserIn]; Manske, Eberhard [VerfasserIn]

    Investigations on the positioning accuracy of the Nano Fabrication Machine (NFM-100) = Untersuchungen zur Positioniergenauigkeit der NanoFabrikationsmaschine (NFM-100)

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    2021

    Erschienen in: Technisches Messen ; 88(2021), 9, Seite 581-589

  10. Stauffenberg, Jaqueline [VerfasserIn]; Ortlepp, Ingo [VerfasserIn]; Reuter, Christoph [VerfasserIn]; Holz, Mathias [VerfasserIn]; Dontsov, Denis [VerfasserIn]; Schäffel, Christoph [VerfasserIn]; Strehle, Steffen [VerfasserIn]; Zöllner, Jens-Peter [VerfasserIn]; Rangelow, Ivo W. [VerfasserIn]; Manske, Eberhard [VerfasserIn]

    Investigations on long-range AFM scans using a nanofabrication machine (NFM-100)

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    2020

    Erschienen in: Proceedings ; Volume 56 (2020), issue 1, 34, Seite 1-3

  11. Ortlepp, Ingo [VerfasserIn]; Fröhlich, Thomas [VerfasserIn]; Füßl, Roland [VerfasserIn]; Reger, Johann [VerfasserIn]; Schäffel, Christoph [VerfasserIn]; Sinzinger, Stefan [VerfasserIn]; Strehle, Steffen [VerfasserIn]; Theska, René [VerfasserIn]; Zentner, Lena [VerfasserIn]; Zöllner, Jens-Peter [VerfasserIn]; Rangelow, Ivo W. [VerfasserIn]; Reinhardt, Carsten [VerfasserIn]; Hausotte, Tino [VerfasserIn]; Cao, Xinrui [VerfasserIn]; Dannberg, Oliver [VerfasserIn]; Fern, Florian [VerfasserIn]; Fischer, David [VerfasserIn]; Gorges, Stephan [VerfasserIn]; Hofmann, Martin [VerfasserIn]; Kirchner, Johannes [VerfasserIn]; Meister, Andreas [VerfasserIn]; Sasiuk, Taras [VerfasserIn]; Schienbein, Ralf [VerfasserIn]; Supreeti, Shraddha [VerfasserIn]; [...]

    Tip- and laser-based 3D nanofabrication in extended macroscopic working areas

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    2021

    Erschienen in: Nanomanufacturing and metrology ; 4(2021), 3, Seite 132-148

  16. Grimm, Daniel; Bof Bufon, Carlos Cesar; Deneke, Christoph; Atkinson, Paola; Thurmer, Dominic J.; Schäffel, Franziska; Gorantla, Sandeep; Bachmatiuk, Alicja; Schmidt, Oliver G.

    Rolled-up nanomembranes as compact 3D architectures for field effect transistors and fluidic sensing applications

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    American Chemical Society (ACS), 2013

    Erschienen in: Nano Letters

  17. Schünemann, Christoph; Schäffel, Franziska; Bachmatiuk, Alicja; Queitsch, Ute; Sparing, Maria; Rellinghaus, Bernd; Lafdi, Khalid; Schultz, Ludwig; Büchner, Bernd; Rümmeli, Mark H.

    Catalyst Poisoning by Amorphous Carbon during Carbon Nanotube Growth: Fact or Fiction?

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    American Chemical Society (ACS), 2011

    Erschienen in: ACS Nano

  18. Schäffel, Franziska; Schünemann, Christoph; Rümmeli, Mark H.; Täschner, Christine; Pohl, Darius; Kramberger, Christian; Gemming, Thomas; Leonhardt, Albrecht; Pichler, Thomas; Rellinghaus, Bernd; Büchner, Bernd; Schultz, Ludwig

    Comparative study on thermal and plasma enhanced CVD grown carbon nanotubes from gas phase prepared elemental and binary catalyst particles

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    Wiley, 2008

    Erschienen in: physica status solidi (b)

  19. Ortlepp, Ingo; Fröhlich, Thomas; Füßl, Roland; Reger, Johann; Schäffel, Christoph; Sinzinger, Stefan; Strehle, Steffen; Theska, René; Zentner, Lena; Zöllner, Jens-Peter; Rangelow, Ivo W.; Reinhardt, Carsten; Hausotte, Tino; Cao, Xinrui; Dannberg, Oliver; Fern, Florian; Fischer, David; Gorges, Stephan; Hofmann, Martin; Kirchner, Johannes; Meister, Andreas; Sasiuk, Taras; Schienbein, Ralf; Supreeti, Shraddha; [...]

    Tip- and Laser-based 3D Nanofabrication in Extended Macroscopic Working Areas

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    Springer Science and Business Media LLC, 2021

    Erschienen in: Nanomanufacturing and Metrology