> Merkliste Sie können Bookmarks mittels Listen verwalten, loggen Sie sich dafür bitte in Ihr SLUB Benutzerkonto ein.
Medientyp: E-Book; Hochschulschrift Titel: Entwurf eines Rotationssensors in dreischichtiger, CMOS-kompatibler Silizium-Oberflächen-Mikromechanik Beteiligte: Sasse, Philipp Wilhelm [Verfasser] Umfang: Online-Ressource Sprache: Deutsch Identifikator: Schlagwörter: Rotationssensor > Entwurf > Mikromechanik > Oberflächenmontage > CMOS > Siliciumbauelement Entstehung: Hochschulschrift: Paderborn, Univ., Diss., 2002 Anmerkungen: Zugangsstatus: Freier Zugang