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Medientyp: E-Artikel Titel: Contrast distortion induced by modulation voltage in scanning capacitance microscopy Beteiligte: Chang, M. N.; Hu, C. W.; Chou, T. H.; Lee, Y. J. Erschienen: AIP Publishing, 2012 Erschienen in: Applied Physics Letters, 101 (2012) 8, Seite 083503 Sprache: Englisch DOI: 10.1063/1.4747319 ISSN: 0003-6951; 1077-3118 Entstehung: Anmerkungen: