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Fischer, Maria; Trant, Mathis; Thorwarth, Kerstin; Crockett, Rowena; Patscheider, Jörg; Hug, Hans Josef

Understanding the microstructural evolution and mechanical properties of transparent Al-O-N and Al-Si-O-N films

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  • Medientyp: E-Artikel
  • Titel: Understanding the microstructural evolution and mechanical properties of transparent Al-O-N and Al-Si-O-N films
  • Beteiligte: Fischer, Maria; Trant, Mathis; Thorwarth, Kerstin; Crockett, Rowena; Patscheider, Jörg; Hug, Hans Josef
  • Erschienen: Informa UK Limited, 2019
  • Erschienen in: Science and Technology of Advanced Materials
  • Sprache: Englisch
  • DOI: 10.1080/14686996.2019.1666425
  • ISSN: 1878-5514; 1468-6996
  • Schlagwörter: General Materials Science
  • Entstehung:
  • Anmerkungen:
  • Zugangsstatus: Freier Zugang