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Medientyp: E-Artikel Titel: Diffusion phenomena in atomic layer deposition Beteiligte: Knez, Mato Erschienen: IOP Publishing, 2012 Erschienen in: Semiconductor Science and Technology, 27 (2012) 7, Seite 074001 Sprache: Ohne Angabe DOI: 10.1088/0268-1242/27/7/074001 ISSN: 1361-6641; 0268-1242 Entstehung: Anmerkungen: