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Medientyp: E-Artikel Titel: Piezoresistive cantilever working in a shear force mode forin situcharacterization of exposed micro- and nanostructures Beteiligte: Sierakowski, Andrzej; Kopiec, Daniel; Janus, Paweł; Ekwińska, Magdalena; Płuska, Mariusz; Grabiec, Piotr; Gotszalk, Teodor Erschienen: IOP Publishing, 2014 Erschienen in: Measurement Science and Technology Sprache: Nicht zu entscheiden DOI: 10.1088/0957-0233/25/4/044018 ISSN: 0957-0233; 1361-6501 Schlagwörter: Applied Mathematics ; Instrumentation ; Engineering (miscellaneous) Entstehung: Anmerkungen: