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Medientyp: E-Artikel Titel: Vacuum operation of comb-drive micro display mirrors Beteiligte: Manh, Chu Hoang; Hane, Kazuhiro Erschienen: IOP Publishing, 2009 Erschienen in: Journal of Micromechanics and Microengineering, 19 (2009) 10, Seite 105018 Sprache: Nicht zu entscheiden DOI: 10.1088/0960-1317/19/10/105018 ISSN: 0960-1317; 1361-6439 Entstehung: Anmerkungen: