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Medientyp: E-Artikel Titel: A fully integrated GaAs-based three-axis Hall magnetic sensor exploiting self-positioned strain released structures Beteiligte: Todaro, Maria T; Sileo, Leonardo; Epifani, Gianmichele; Tasco, Vittorianna; Cingolani, Roberto; De Vittorio, Massimo; Passaseo, Adriana Erschienen: IOP Publishing, 2010 Erschienen in: Journal of Micromechanics and Microengineering, 20 (2010) 10, Seite 105013 Sprache: Nicht zu entscheiden DOI: 10.1088/0960-1317/20/10/105013 ISSN: 0960-1317; 1361-6439 Schlagwörter: Electrical and Electronic Engineering ; Mechanical Engineering ; Mechanics of Materials ; Electronic, Optical and Magnetic Materials Entstehung: Anmerkungen: