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Medientyp: E-Artikel Titel: UV laser drilling of SiC for semiconductor device fabrication Beteiligte: Krüger, Olaf; Schöne, Gerd; Wernicke, Tim; John, Wilfred; Würfl, Joachim; Tränkle, Günther Erschienen: IOP Publishing, 2007 Erschienen in: Journal of Physics: Conference Series Sprache: Nicht zu entscheiden DOI: 10.1088/1742-6596/59/1/158 ISSN: 1742-6588; 1742-6596 Schlagwörter: General Physics and Astronomy Entstehung: Anmerkungen: Zugangsstatus: Freier Zugang