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Medientyp: E-Artikel Titel: Study of Lowenergy Atomic Mixing by Means of Auger Depth Profiling, XTEM and TRIM Simulation on GeSi Multilayer System Beteiligte: Barna, A.; Menyhard, M. Erschienen: Wiley, 1996 Erschienen in: Surface and Interface Analysis Sprache: Nicht zu entscheiden DOI: 10.1002/(sici)1096-9918(199607)24:7<476::aid-sia138>3.3.co;2-6 ISSN: 0142-2421; 1096-9918 Schlagwörter: Materials Chemistry ; Surfaces, Coatings and Films ; Surfaces and Interfaces ; Condensed Matter Physics ; General Chemistry Entstehung: Anmerkungen: