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Medientyp: E-Artikel Titel: 41.3: Invited Paper: Molybdenum Titanium based Sputter Targets for TFT Application Beteiligte: Hotz, Hendrik; Schmidt, Hennrik; Lorenz, Dominik; Scherer, Thomas; Linke, Christian; Koestenbauer, Harald; Winkler, Joerg Erschienen: Wiley, 2022 Erschienen in: SID Symposium Digest of Technical Papers Sprache: Englisch DOI: 10.1002/sdtp.15974 ISSN: 0097-966X; 2168-0159 Schlagwörter: Applied Mathematics ; General Mathematics Entstehung: Anmerkungen: