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Medientyp: E-Artikel Titel: In-situ diagnostics for plasma surface processing Beteiligte: Kroesen, G. M. W.; Hoog, F. J. Erschienen: Springer Science and Business Media LLC, 1993 Erschienen in: Applied Physics A Solids and Surfaces Sprache: Englisch DOI: 10.1007/bf00331399 ISSN: 0721-7250; 1432-0630 Schlagwörter: General Materials Science ; General Chemistry ; Physics and Astronomy (miscellaneous) ; General Engineering ; General Materials Science Entstehung: Anmerkungen: