• Medientyp: E-Artikel
  • Titel: Arsenic doping in Si-MBE using low energy ion implantation (LEII)
  • Beteiligte: Collart, E.J.H.; Gravesteijn, D.J.; Lathouwers, E.G.C.; Kersten, W.J.
  • Erschienen: Elsevier BV, 1995
  • Erschienen in: Journal of Crystal Growth, 157 (1995) 1-4, Seite 349-352
  • Sprache: Englisch
  • DOI: 10.1016/0022-0248(95)00355-x
  • ISSN: 0022-0248
  • Schlagwörter: Materials Chemistry ; Inorganic Chemistry ; Condensed Matter Physics
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