• Medientyp: E-Artikel
  • Titel: X-ray diffraction peak profile analysis of TiNx films prepared on silicon by reactive ion beam assisted deposition
  • Beteiligte: Scardi, P.; Kothari, D.C.; Guzman, L.
  • Erschienen: Elsevier BV, 1991
  • Erschienen in: Thin Solid Films
  • Sprache: Englisch
  • DOI: 10.1016/0040-6090(91)90273-z
  • ISSN: 0040-6090
  • Schlagwörter: Materials Chemistry ; Metals and Alloys ; Surfaces, Coatings and Films ; Surfaces and Interfaces ; Electronic, Optical and Magnetic Materials
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