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Medientyp: E-Artikel Titel: Optimisation of SIMOX structures formed by ion beam synthesis Beteiligte: Reeson, K.J.; Stephens, K.G.; Hemment, P.L.F. Erschienen: Elsevier BV, 1989 Erschienen in: Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms, 37-38 (1989), Seite 290-295 Sprache: Englisch DOI: 10.1016/0168-583x(89)90188-2 ISSN: 0168-583X Entstehung: Anmerkungen: