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Medientyp: E-Artikel Titel: Thermal oxidation of silicon: New experimental results and models Beteiligte: Irene, Eugene A.; Ghez, R. Erschienen: Elsevier BV, 1987 Erschienen in: Applied Surface Science, 30 (1987) 1-4, Seite 1-16 Sprache: Englisch DOI: 10.1016/0169-4332(87)90067-5 ISSN: 0169-4332 Entstehung: Anmerkungen: