• Medientyp: E-Artikel
  • Titel: Thermal oxidation of silicon: New experimental results and models
  • Beteiligte: Irene, Eugene A.; Ghez, R.
  • Erschienen: Elsevier BV, 1987
  • Erschienen in: Applied Surface Science, 30 (1987) 1-4, Seite 1-16
  • Sprache: Englisch
  • DOI: 10.1016/0169-4332(87)90067-5
  • ISSN: 0169-4332
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