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Medientyp: E-Artikel Titel: Plasma supported processing with high-average-power infrared-lasers Beteiligte: Hugenschmidt, Manfred; Schmitt, Rüdiger Erschienen: Elsevier BV, 1995 Erschienen in: Infrared Physics & Technology, 36 (1995) 1, Seite 159-170 Sprache: Englisch DOI: 10.1016/1350-4495(94)00062-p ISSN: 1350-4495 Schlagwörter: Condensed Matter Physics ; Atomic and Molecular Physics, and Optics ; Electronic, Optical and Magnetic Materials Entstehung: Anmerkungen: