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Medientyp: E-Artikel Titel: Effect of filler behavior on nanocomposite SU8 photoresist for moving micro-parts Beteiligte: Jiguet, S.; Judelewicz, M.; Mischler, S.; Bertch, A.; Renaud, P. Erschienen: Elsevier BV, 2006 Erschienen in: Microelectronic Engineering Sprache: Englisch DOI: 10.1016/j.mee.2006.01.068 ISSN: 0167-9317 Schlagwörter: Electrical and Electronic Engineering ; Surfaces, Coatings and Films ; Condensed Matter Physics ; Atomic and Molecular Physics, and Optics ; Electronic, Optical and Magnetic Materials Entstehung: Anmerkungen: