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Medientyp: E-Artikel Titel: Ion beam sputtering of germanium – Energy and angular distribution of sputtered and scattered particles Beteiligte: Feder, Rene; Bundesmann, Carsten; Neumann, Horst; Rauschenbach, Bernd Erschienen: Elsevier BV, 2014 Erschienen in: Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms Sprache: Englisch DOI: 10.1016/j.nimb.2014.05.009 ISSN: 0168-583X Schlagwörter: Instrumentation ; Nuclear and High Energy Physics Entstehung: Anmerkungen: