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Medientyp: E-Artikel Titel: Ion-bombardment induced morphology change of device related SiGe multilayer heterostructures Beteiligte: Hofer, C.; Teichert, C.; Oehme, M.; Werner, J.; Lyutovich, K.; Kasper, E. Erschienen: Elsevier BV, 2009 Erschienen in: Applied Surface Science Sprache: Englisch DOI: 10.1016/j.apsusc.2009.08.013 ISSN: 0169-4332 Schlagwörter: Surfaces, Coatings and Films ; Condensed Matter Physics ; Surfaces and Interfaces ; General Physics and Astronomy ; General Chemistry Entstehung: Anmerkungen: