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Medientyp: E-Artikel Titel: Epitaxial Growth of High Quality n-type Silicon Foils in a Quasi-inline APCVD Reactor Beteiligte: Milenkovic, Nena; Rachow, Thomas; Janz, Stefan; Reber, Stefan Erschienen: Elsevier BV, 2015 Erschienen in: Energy Procedia Sprache: Englisch DOI: 10.1016/j.egypro.2015.07.088 ISSN: 1876-6102 Schlagwörter: General Earth and Planetary Sciences ; General Environmental Science Entstehung: Anmerkungen: Zugangsstatus: Freier Zugang