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Medientyp: E-Artikel Titel: Study of interfacial adhesion energy of multilayered ULSI thin film structures using four-point bending test Beteiligte: Gan, Zhenghao; Mhaisalkar, S.G.; Chen, Zhong; Zhang, Sam; Chen, Zhe; Prasad, K. Erschienen: Elsevier BV, 2005 Erschienen in: Surface and Coatings Technology Sprache: Englisch DOI: 10.1016/j.surfcoat.2004.10.036 ISSN: 0257-8972 Schlagwörter: Materials Chemistry ; Surfaces, Coatings and Films ; Surfaces and Interfaces ; Condensed Matter Physics ; General Chemistry Entstehung: Anmerkungen: