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Medientyp: E-Artikel Titel: Deposition of dense and smooth Ti films using ECR plasma-assisted magnetron sputtering Beteiligte: Zhang, Lei.; Shi, L.Q.; He, Z.J.; Zhang, B.; Lu, Y.F.; Liu, A.; Wang, B.Y. Erschienen: Elsevier BV, 2009 Erschienen in: Surface and Coatings Technology Sprache: Englisch DOI: 10.1016/j.surfcoat.2009.04.022 ISSN: 0257-8972 Schlagwörter: Materials Chemistry ; Surfaces, Coatings and Films ; Surfaces and Interfaces ; Condensed Matter Physics ; General Chemistry Entstehung: Anmerkungen: