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Medientyp: E-Artikel Titel: Etch characteristics of gallium indium zinc oxide thin films in a HBr/Ar plasma Beteiligte: Kim, Eun Ho; Xiao, Yu Bin; Kong, Seon Mi; Chung, Chee Won Erschienen: Elsevier BV, 2010 Erschienen in: Surface and Coatings Technology, 205 (2010), Seite S252-S256 Sprache: Englisch DOI: 10.1016/j.surfcoat.2010.07.084 ISSN: 0257-8972 Entstehung: Anmerkungen: