• Medientyp: E-Artikel
  • Titel: Interpretation of scanning capacitance microscopy for thin oxides characterization
  • Beteiligte: Ligor, O.; Gautier, B.; Descamps-Mandine, A.; Albertini, D.; Baboux, N.; Militaru, L.
  • Erschienen: Elsevier BV, 2009
  • Erschienen in: Thin Solid Films, 517 (2009) 24, Seite 6721-6725
  • Sprache: Englisch
  • DOI: 10.1016/j.tsf.2009.05.026
  • ISSN: 0040-6090
  • Schlagwörter: Materials Chemistry ; Metals and Alloys ; Surfaces, Coatings and Films ; Surfaces and Interfaces ; Electronic, Optical and Magnetic Materials
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