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Medientyp: E-Artikel Titel: Interpretation of scanning capacitance microscopy for thin oxides characterization Beteiligte: Ligor, O.; Gautier, B.; Descamps-Mandine, A.; Albertini, D.; Baboux, N.; Militaru, L. Erschienen: Elsevier BV, 2009 Erschienen in: Thin Solid Films, 517 (2009) 24, Seite 6721-6725 Sprache: Englisch DOI: 10.1016/j.tsf.2009.05.026 ISSN: 0040-6090 Schlagwörter: Materials Chemistry ; Metals and Alloys ; Surfaces, Coatings and Films ; Surfaces and Interfaces ; Electronic, Optical and Magnetic Materials Entstehung: Anmerkungen: