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Medientyp: E-Artikel Titel: Effects of substrate temperature and post-annealing on microstructure and properties of (AlCrNbSiTiV)N coatings Beteiligte: Huang, Ping-Kang; Yeh, Jien-Wei Erschienen: Elsevier BV, 2009 Erschienen in: Thin Solid Films, 518 (2009) 1, Seite 180-184 Sprache: Englisch DOI: 10.1016/j.tsf.2009.06.020 ISSN: 0040-6090 Entstehung: Anmerkungen: