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Medientyp: E-Artikel Titel: Low temperature atomic layer deposition of noble metals using ozone and molecular hydrogen as reactants Beteiligte: Hämäläinen, Jani; Puukilainen, Esa; Sajavaara, Timo; Ritala, Mikko; Leskelä, Markku Erschienen: Elsevier BV, 2013 Erschienen in: Thin Solid Films Sprache: Englisch DOI: 10.1016/j.tsf.2013.01.091 ISSN: 0040-6090 Entstehung: Anmerkungen: