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Medientyp: E-Artikel Titel: Gas phase and surface kinetic schemes for metal organic chemical vapor deposition processes: a theoretical perspective Beteiligte: Cavallotti, Carlo; Masi, Maurizio; Carrà, Sergio Erschienen: Elsevier BV, 2000 Erschienen in: Materials Chemistry and Physics Sprache: Englisch DOI: 10.1016/s0254-0584(00)00320-5 ISSN: 0254-0584 Schlagwörter: Condensed Matter Physics ; General Materials Science Entstehung: Anmerkungen: