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Medientyp: E-Artikel Titel: Two dimensional boron diffusion determination by scanning capacitance microscopy Beteiligte: Giannazzo, F.; Raineri, V.; Priolo, F. Erschienen: Elsevier BV, 2002 Erschienen in: Materials Science and Engineering: B, 91-92 (2002), Seite 220-223 Sprache: Englisch DOI: 10.1016/s0921-5107(01)00999-0 ISSN: 0921-5107 Schlagwörter: Mechanical Engineering ; Mechanics of Materials ; Condensed Matter Physics ; General Materials Science Entstehung: Anmerkungen: