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Medientyp: E-Artikel Titel: Evaluation of halomethylated poly(methylphenylsilane)s as electron-beam resists Beteiligte: Holder, Simon J.; Jones, Richard G.; Murphy, Julian J. Erschienen: Royal Society of Chemistry (RSC), 1997 Erschienen in: Journal of Materials Chemistry, 7 (1997) 9, Seite 1701-1707 Sprache: Ohne Angabe DOI: 10.1039/a700413c ISSN: 0959-9428; 1364-5501 Entstehung: Anmerkungen: