Erschienen:
Royal Society of Chemistry (RSC), 2018
Erschienen in:
Nanoscale, 10 (2018) 3, Seite 1420-1431
Sprache:
Englisch
DOI:
10.1039/c7nr07491c
ISSN:
2040-3364;
2040-3372
Entstehung:
Anmerkungen:
Beschreibung:
Metal oxide (MOX) surface nanopatterns can be prepared using Soft-Nano-Imprint-Lithography (soft-NIL) combined with sol–gel deposition processing.