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Medientyp: E-Artikel Titel: Aluminium Implantation in Germanium: Uphill Diffusion, Electrical Activation, and Trapping Beteiligte: Impellizzeri, Giuliana; Napolitani, Enrico; Boninelli, Simona; Privitera, Vittorio; Clarysse, Trudo; Vandervorst, Wilfried; Priolo, Francesco Erschienen: IOP Publishing, 2012 Erschienen in: Applied Physics Express, 5 (2012) 2, Seite 021301 Sprache: Englisch DOI: 10.1143/apex.5.021301 ISSN: 1882-0778; 1882-0786 Schlagwörter: General Physics and Astronomy ; General Engineering Entstehung: Anmerkungen: